关键词：微机电系统；横向敏感；刚度调节；高K介质；电容式加速度计 [gap=969]Keywords：MEMS；lateral sensing；stiffness tuning；high K dielectric；capacitive accelerometer
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micro-capacitive accelerometer 电容式微加速度计
MEMS capacitive accelerometer MEMS电容式加速度计
Digital capacitive accelerometer 发明名称
micromachined capacitive accelerometer 电容式微加速度计
micromachining capacitive accelerometer 微机械电容式加速度计
micro-machined capacitive accelerometer 电容式微加速度计
micro-mechanical capacitive accelerometer 微机械加速度计
Thick-film hybrid integrated capacitive accelerometer 基于厚膜混合集成的电容式加速度传感器
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A novel micromachined capacitive accelerometer, based on slide-film damping principle, was reported.
介绍了一种新型基于滑膜阻尼的电容式微机械加速度计。
The integrated MEMS capacitive accelerometer interface circuit will be studied here in this dissertation.
本论文针对MEMS电容式加速度传感器的单片集成接口电路进行了深入的研究。
This paper is to research and design the low-pass filter of the MEMS capacitive accelerometer sensor readout circuit.
本文研究设计了适于MEMS电容加速度传感器读出电路的低通滤波器。
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